PRODUCT & SERVICE

製品/サービス

大気圧イオン化質量分析計

製品特長

  • オンライン品質管理において信頼性の優れた全自動システム
  • 優れた感度および低い検出限界: <10 ppt
  • オートサンプルスイッチングおよびオートキャリブレーション
  • 複数の成分を同時に測定
  • 高速オンライン測定
  • 施設管理およびシステムインテグレーション用の業界標準通信プロトコル

製品概要

超高純度 (UHP) ガス中の不純物分析装置です。
バルクガス中の複数の不純物を連続測定し、ppt レベルで検出します。早い分析時間と連続測定により生産されるUHPガスの歩留まりと品質維持に貢献します。

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