プロセス質量分析計 | 八洲貿易株式会社《総合技術商社》

Gas Analyzer

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プロセス質量分析計 [Thermo Fisher社]

プロセスガス分析や環境分析を行うオンライン質量分析計
磁場型と四重極型の両方の質量分析計を製造販売するメーカーとして30年以上の実績
世界各国で900台以上の納入実績

製品概要

質量分析計とは

質量分析計は物質（ガス）の持つ質量数（分子量）の違いにより測定成分を選別して濃度を測定する分析計です。

質量（Mass）：
物質（ガス）固有の基本量で原子核を構成する核子（陽子と中性子）の総数。分子量。質量分析の対象となる原子や分子の質量は質量数（Mass Number / Mass Weight）で表される。

質量分析計の原理（スキャン式磁場型と四重極型）

磁場型質量分析計と四重極型質量分析計の分析部は主に次の要素で構成されています。

イオン源：導入したサンプルガスをイオン化します
マスフィルター：サンプルガスイオンビームを質量の違いにより選別します
検出器：選別されたイオンビームを受けて、イオンの強さを電流値としてカウントして定量化します
真空システムイオン源・マスフィルター・検出器は高真空下で稼働します

イオン源でイオン化されたガス分子はイオンビーム（荷電粒子）としてマスフィルター（磁場）へと送られます。マスフィルターには電磁石があり、この上を通過するイオンビーム（電荷粒子）は、ローレンツ力により質量数の違いに応じて特定の弧を描き偏向する特徴があります。

例えば、
質量の軽いイオンは急な弧を描いて電磁石の上を通過します。
質量の重いイオンは緩やかな弧を描いて電磁石の上を通過します。
Thermo Fisher Scientific社の磁場型ガス質量分析計は走査磁場型で磁場の強さを絶えず変化させています。これにより質量の軽いイオンや重いイオンの描く弧を変化させて測定したいガスを選別し、検出器にてカウントし定量化します。

イオン源にてイオン化されたガス分子（荷電粒子）は抽出レンズにより四重極マスフィルターに集められます。
四重極マスフィルターには4本の円柱電極があり、それぞれ正と負の直流電流が流されています。そこに高周波交流電圧を掛けることによりスパイラル状の電場が発生します。4本の電極の中は高周波である為に周波数を持ち、イオンが通過する際、分子が持つ固有の振動（周波数）と電場内の周波数によりイオンが振動しながら通過し、周波数の合わないイオンは振動が大きくなり電極にぶつかる、または電極の外へと弾かれてしまいますが、周波数の合うイオンのみが検出器に到達したイオンをカウントして定量化しています。

Thermo Fisher Scientific社はお客様のご要望に合わせてスキャン式磁場型質量分析計と四重極型質量分析計の両方を供給致します。